パーティクル検査裝置

Particle Inspection

• 概要：清和獨自の 光學系・照明手法・畫像処理 により、高精度の検査を実現
• 用途：FPD基板表面の Particle を検出 ～ 前工程への Feedback や Repair に反映
• 仕様：最小検出Size： Φ1um ～（Φ5um、Φ10um、Φ30um）

            対応基板Size： 最大 G10.5