縦型ガラス露光裝置　/　水平型ガラス露光裝置

Film Roll to Roll Simultaneous both sides and one side type (Vertical)

• 概要：高精細露光に適した獨自UV光學系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出し機構を採用しコンタクト，プロキシミティーまで対応したた全自動露光裝置です。

5G以上の大サイズマスクには縦型　4.5G以下のマスクには水平型をご提案します。

　　　　　　Vertical High Accuracy

• 用途：CF　TP　（FPD全般）
• 仕様：対応基板サイズ:4.5G-8.5G

　　　　　　Substrate Size:4.5G-8.5G

　　　　　　アラメント精度:±1μm