蒸氣清洗設備 (Steam cleaning equipment)：

1. 日本AQUA science corporation的蒸氣清洗設備適用於LED、Glass、PCB、LCD、Solar cell、Semiconductor等產業應用。
2. 系列機種應用目標：達到去除蝕刻聚合物、晶片上異物、光阻、殘膠等效果。

蒸氣產生模組 (steam generator module, SGM)：區分為鈦、不鏽鋼、金屬合金 (不鏽鋼及銅)材質機型。

蒸氣噴嘴 (steam nozzle)：區分為不鏽鋼及鈦材質。