筑波精工株式會社(TSUKUBA SEIKO Co., Ltd.)系列產品:
E-Chuck產品:庫倫力型靜電吸盤,以電盤裡印加電壓的方式實現安定吸附。
Supporter (cordless)產品:以電氣控制實現薄型晶圓的補強及固定,實現Si wafer厚度小於100um的吸附,可提供客製化產品規劃服務。