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E-Chuck & cordless Supporter
半導體吸附裝置及基板>靜電吸附裝置

筑波精工株式會社(TSUKUBA SEIKO Co., Ltd.)系列產品:

  1. 提供吸附導體、半導體、絕緣體的解決方案,在真空環境下仍具有安定的吸附力。
  2. 產品適用於玻璃基板搬運、半導體薄片晶圓製程、薄膜/紙張製程、基板搬運等應用。

E-Chuck產品:庫倫力型靜電吸盤,以電盤裡印加電壓的方式實現安定吸附。




Supporter (cordless)產品:以電氣控制實現薄型晶圓的補強及固定,實現Si wafer厚度小於100um的吸附,可提供客製化產品規劃服務。


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